偏置电压极性对力反馈电容式微加速度计特性的影响分析

• 作者: 王跃林 董林玺 车录锋
• 来源期刊: 高技术通讯
• 关键词: 电容式加速度计 电压反馈 偏置电压极性
• 年，卷（期）: 2004,（12）
• 所属期刊栏目: 先进制造与自动化技术
• 页码范围: 67-72
• 页数: 6页
• 字数: 2885字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0470.2004.12.015

摘要

对电容式加速度计,为测量其电容的变化,通常需要带直流偏置的交流电压信号来驱动.驱动信号产生的静电力有时会干扰器件的测量和正常工作.文章中定量分析了带有电压反馈的双边驱动信号对器件特性的影响.对于这种驱动方式,正-负和正-正的直流电压偏置可以改善器件的测量线性度,基本消除由驱动信号导致的吸合效应,而负-负和负-正的直流电压偏置会使驱动信号引起的吸合效应增大,从而大大缩小了器件的安全工作范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王跃林	浙江大学信息学院信电系	39	434	11.0	19.0
5	车录锋	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	38	363	11.0	16.0
6	董林玺	浙江大学信息学院信电系	3	35	3.0	3.0