电容式微加速度计开环模式的非线性模型

• 作者: 戴强 杨洪东 杨谟华 王向展 罗谦
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式微加速度计 非线性模型 开环模式 输入输出特性曲线 最大可测加速度 初始工作点 吸合点
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 512-515
• 页数: 4页
• 分类号: TN401
• 字数: 2660字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.03.008

摘要

针对当前电容式微加速度计量程不高、开环模式非线性误差大的特点,根据力学理论和电路读出原理,并基于非线性特性中最大可测量加速度、初始工作点和吸合点与动定电极间距d的变化规律,提出了电容式微加速度计非线性模型.模型指出,随着输出电压的增加,可测量加速度近似成线性增加,在靠近最大可测量加速度αmax时斜率增大,其后随输出电压的增加而减小至吸合点;αmax由d和微结构梁弹性常数与质量之比λ决定,且d的作用优于λ;d在小于初始工作点时加速度计不能工作,该点由传感头参数η决定,且η的最佳取值范围为1×1019～2×1019,此时准静态条件下吸合点大于整个动电极行程的95%.该模型的提出对开环式加速度计的非线性误差纠正提供了理论支持,对加速度计的结构设计具有参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨谟华	电子科技大学微电子与固体电子学院	58	278	8.0	11.0
2	戴强	电子科技大学微电子与固体电子学院	6	26	3.0	5.0
3	王向展	电子科技大学微电子与固体电子学院	32	142	7.0	9.0
4	罗谦	电子科技大学微电子与固体电子学院	19	63	5.0	6.0
5	杨洪东	电子科技大学微电子与固体电子学院	8	20	3.0	4.0