以ZnS为源用化学气相沉积法在硅衬底上生长ZnO纳米颗粒

• 作者: 乔永平 张伯蕊 李宇杰 段然 石鹏博 秦国刚 黄兰
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 凝聚态物理 ZnO纳米颗粒 化学气相沉积 Si衬底 光致发光
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 176-180
• 页数: 5页
• 分类号: O47
• 字数: 3480字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2004.03.005

摘要

首次以ZnS为源,采用化学气相沉积法在抛光的Si单晶片衬底上生长晶态的ZnO纳米颗粒,其形貌、尺寸和密度都与气体流量、衬底温度、生长时间以及有无催化剂等生长条件密切相关.在没有Au催化的条件下,ZnO颗粒呈圆形颗粒,直径多在30-200nm之间,密度为104-109cm-2;有Au催化的条件下,ZnO纳米颗粒呈六边形,平均尺寸明显变小,在10-100cm之间,而密度显著提高,为108-1010cm-2.所制备的纳米ZnO颗粒在497nm和376nm附近分别有很强和较弱的光致发光.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦国刚	北京大学物理学院介观物理国家重点实验室	20	128	6.0	10.0
2	李宇杰	北京大学物理学院介观物理国家重点实验室	3	42	3.0	3.0
3	石鹏博	北京大学物理学院介观物理国家重点实验室	1	7	1.0	1.0
4	段然	北京大学物理学院介观物理国家重点实验室	5	8	1.0	2.0
5	张伯蕊	北京大学物理学院介观物理国家重点实验室	11	70	4.0	8.0
6	乔永平	北京大学物理学院介观物理国家重点实验室	8	27	3.0	5.0
7	黄兰	北京大学化学学院	22	212	8.0	14.0