二手投影光刻机的翻新改造

• 作者: 郑武
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 设备维护与保养
• 页码范围: 85-87
• 页数: 3页
• 分类号: TN3
• 字数: 3393字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.03.024

摘要

主要介绍了二手投影光刻机的翻新发行与安装调试工作.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑武		2	1	1.0	1.0