如何选购适合半导体专用的大气机械手臂运用于EFEM设备上

• 作者: 郭俊晖
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 共享型式的进/出接口 电讯化分析 晶圆盒打开及乘载之设备标准
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 新设备与新工艺
• 页码范围: 72-77
• 页数: 6页
• 分类号: TP241
• 字数: 3180字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.09.018

摘要

从φ150 mm开始Robot(机械手臂)就被广泛运用,除了有效地降低微尘颗粒的大小、允许以程序化来决定晶圆取放的路径等优点外,自动化作业的迫切需求,更是其主要原因.Robot被分为Liner与Scara两种,Scara Type在φ200 mm及之后晶圆制造中运用较多.采购Robot通常有两种情况,一为只单纯买一个Robot,不需要配合其它外围做运用.二为需要搭配外围做整合/集成,此种方式在半导体业较为普及,但是也较为复杂.现以布鲁克斯(Brooks)在设备自动化整合方面的经验,与国内业界友人一同探讨选购Robot的诀窍及注意事项.