ZAO/metal/ZAO多层膜光学性能优化设计

• 作者: 李镇涛 王振家 赵大庆
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 最优化设计 光透射系数 透光率
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 495-497
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 2775字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2004.04.006

摘要

为获得高质量的透明导电薄膜,采用计算机辅助,对ZAO/metal/ZAO多层膜系统进行最优化设计.应用基于薄膜特性矩阵的分析方法,计算包含吸收膜的多层膜系的光学特性,并以整个膜系在可见光区内的光透射系数作为最优化设计的准则.根据优化结果,以磁控溅射方法在玻璃基片上逐次溅射ZAO,metal,ZAO薄膜,最终获得可见光区内最高透光率为86.6%,方电阻为6.5Ω/□左右的多层膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵大庆	清华大学机械工程系	24	342	10.0	18.0
2	王振家	清华大学机械工程系	20	385	9.0	19.0
3	李镇涛	清华大学机械工程系	2	16	2.0	2.0