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摘要:
为获得高质量的透明导电薄膜,采用计算机辅助,对ZAO/metal/ZAO多层膜系统进行最优化设计.应用基于薄膜特性矩阵的分析方法,计算包含吸收膜的多层膜系的光学特性,并以整个膜系在可见光区内的光透射系数作为最优化设计的准则.根据优化结果,以磁控溅射方法在玻璃基片上逐次溅射ZAO,metal,ZAO薄膜,最终获得可见光区内最高透光率为86.6%,方电阻为6.5Ω/□左右的多层膜.
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ZAO薄膜
柔性衬底
透明导电薄膜
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 ZAO/metal/ZAO多层膜光学性能优化设计
来源期刊 材料科学与工程学报 学科 工学
关键词 最优化设计 光透射系数 透光率
年,卷(期) 2004,(4) 所属期刊栏目 研究论文
研究方向 页码范围 495-497
页数 3页 分类号 TB43
字数 2775字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1673-2812.2004.04.006
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 赵大庆 清华大学机械工程系 24 342 10.0 18.0
2 王振家 清华大学机械工程系 20 385 9.0 19.0
3 李镇涛 清华大学机械工程系 2 16 2.0 2.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
最优化设计
光透射系数
透光率
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
材料科学与工程学报
双月刊
1673-2812
33-1307/T
大16开
浙江杭州浙大路38号浙江大学材料系
1983
chi
出版文献量(篇)
4378
总下载数(次)
9
总被引数(次)
42484
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