sol-gel法制备ZAO薄膜的结构与光学性能研究

• 作者: 曾凡菊 李光辉 谭永前
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶—凝胶法 ZAO薄膜 紫外—可见光谱 光致发光(PL)
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 27-29
• 分类号: O484.41
• 字数: 2492字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2011.12.008

摘要

采用溶胶—凝胶法在普通玻璃衬底上制备了ZAO(ZnO:A1)薄膜,利用XRD、SEM、紫外—可见光谱和光致发光光谱对所制备的AZO薄膜进行了表征,研究了ZAO薄膜的结构和光学性能.结果表明:ZAO薄膜的微晶晶相与ZnO一致,且具有c轴择优取向；ZAO薄膜在可见光区的透过率超过了88％,在350～575 nm范围内有强的发光带.随着Al掺杂量的增加,ZAO薄膜的禁带宽度变大,光吸收边出现蓝移,发射峰强度先变强后变弱;当摩尔比r(Al:Zn)为0.010时,ZAO薄膜的可见光透过率最高,达91％；发射峰强度达46.3.