衬底温度和氧分压对ZAO薄膜结构及光学性能的影响

• 作者: 戎茂华 李雪勇 杨红
• 来源期刊: 湖南工业大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZAO薄膜 衬底温度 氧分压 透射卒
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 75-78
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3467字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9833.2008.04.020

摘要

采用直流磁控溅射技术,以氧化锌铝陶瓷靶为靶材,在玻璃衬底上制备了ZnO∶Al(ZAO)薄膜,研究了不同工艺参数对薄膜晶体结构及光学性质的影响.实验结果表明:ZAO薄膜具有六角纤锌矿结构且呈c轴择优取向,晶粒垂直于衬底方向柱状生长,衬底温度和氧分压对薄膜的结构和光学性能有重大影响.在衬底温度为200 ℃、氧氩分压比为1%时,薄膜结晶性能最好,平均透射率可达86.5%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨红	湖南信息职业技术学院基础部	17	11	1.0	3.0
2	李雪勇	湖南工业大学理学院	14	33	4.0	5.0
3	戎茂华	湖南工业大学理学院	2	3	1.0	1.0