蓝绿激光作用下沉积态Ag11In12 Sb51Te26相变薄膜的晶化性能

• 作者: 干福熹 张广军 顾冬红
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 相变薄膜 蓝绿激光 Ag11In12Sb51Te26 晶化 反射率对比度
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 1351-1355
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 2337字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2004.11.016

摘要

用反射率对比度来衡量晶化程度,分别探讨了脉宽为500 ns,100 ns,60 ns的蓝绿激光(514nm)作用下沉积态Ag11In12Sb51Te26相变薄膜的晶化性能,表明Ag11In12Sb51Te26相变薄膜在蓝绿激光下可具有较高的晶化速度.对比分析了热致晶化后的Ag11In12Sb51Te26薄膜在514nm处的反射率对比度,结果表明激光晶化和热致晶化后薄膜的反射率对比度有明显差别,分别为8%和19.2%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	干福熹	中国科学院上海光学精密机械研究所高密度光存储实验室	288	2527	23.0	29.0
2	顾冬红	中国科学院上海光学精密机械研究所高密度光存储实验室	65	551	12.0	19.0
3	张广军	中国科学院上海光学精密机械研究所高密度光存储实验室	6	17	3.0	3.0