飞秒激光辐照Ge2Sb2Te5相变薄膜的拉曼光谱研究

• 作者: 孔杰 李国华 李晶 王召兵 魏慎金
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 拉曼光谱 Ge2Sb2Te5相变薄膜 飞秒激光 退火
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 6-8,37
• 分类号: O43
• 字数: 3480字
• 语种: 中文

摘要

室温下,采用磁控溅射镀膜系统在Si(100)基片上制备了Ge2Sb2Te5(GST)薄膜样品.对分别经过不同能量密度的飞秒激光辐照及经退火炉200℃退火处理的样品,进行拉曼光谱测试,通过分析其拉曼光谱峰位的变化来研究GST薄膜从非晶态到晶态转变的相变过程.随着辐照激光能量密度的增加,薄膜的拉曼峰位出现了定向移动.经200℃退火样品的拉曼谱与经24mJ/cm2飞秒激光辐照的样品拉曼谱相似,表明在一定条件下,超快激光光致相变与温控相变具有相似的效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晶	复旦大学信息学院光科学与工程系	40	109	7.0	9.0
5	魏慎金	复旦大学信息学院光科学与工程系	1	2	1.0	1.0