钛掺杂对Ge2Sb2Te5薄膜相变特性的改善

• 作者: 吕磊 张颖 易歆雨 朱焕锋 李晶 程帅 陈坤 魏慎金
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 钛掺杂Ge2Sb2Te5薄膜 相变特性 热稳定性 数据保持能力
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 页码范围: 658-662
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 1220字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2015.06.004

摘要

利用椭偏光谱术与XRD对钛掺杂Ge2Sb2Te5薄膜中钛元素对体系的光学性质及其微结构的影响进行了实验研究.进而对该薄膜进行变温阻抗实验表明,钛掺杂Ge2Sb2Te5薄膜与未掺杂的薄膜相比具有更好的热稳定性.基于对薄膜样品的数据保持能力测试的实验数据,经阿伦纽斯外推处理可知,钛掺杂Ge2Sb2Te5薄膜样品的10年数据保持温度要高于未掺杂Ge2 Sb2Te5薄膜样品.本文的实验结果均证实,钛掺杂Ge2Sb2Te5薄膜更适合应用于相变随机存取存储器中.