高精度伺服转台超低速控制

• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 高精度双轴伺服转台 伺服系统 低速控制
• 年，卷（期）: 2004,（z2）
• 所属期刊栏目: 现代光学仪器与精密机械
• 页码范围: 14-17
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 字数: 1493字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.z2.004

摘要

高精度伺服转台通常要求能够在极低的速度下实现位置的实时跟踪,所以,对转台的速度控制系统提出了很高的要求.介绍了一种用于高精度伺服转台的速度控制系统.在结合电机的物理参数及其数学模型进行详细分析后,在使用PID控制器的基础上进一步提出了按照最佳二阶模型进行开环设计的速度控制方案.给出了理论设计值和实际测得的模拟速度环幅频和相频曲线.并由此得到系统的谐振频率约为118 Hz,闭环带宽约为230 Hz,伺服转台最低速度可以达到1.06"/s,即14 d/r.由于系统的速度控制指标为1 d/r,因此该模拟速度环达到并且优于预定的指标.