无机络合溶胶-凝胶法制备多孔ZnO薄膜

• 作者: 杨立荣 步邵静 程志捷 靳正国
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多孔ZnO薄膜 无机络合溶胶-凝胶法 孔径分布 性能
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 241-246
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.2+1
• 字数: 1020字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.03.001

摘要

利用无机络合溶胶-凝胶法制备多孔ZnO薄膜,同时利用多种测试手段对薄膜的晶体结构、表面形貌、多孔和光学性能进行了研究.XRD和SEM的测试结果表明,ZnO薄膜的晶体结构为六方纤锌矿,薄膜表面呈多孔状.由孔径分布曲线得出薄膜的孔主要集中在介孔2.02nm和4.97nm;500℃煅烧得到的ZnO薄膜的比表面积是27.57m2/g;在不同温度下煅烧的薄膜在可见光区域透射率均高于85%,光学带宽为3.25eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	靳正国	天津大学材料学院先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室	55	517	13.0	18.0
2	杨立荣	天津大学材料学院先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室	7	70	4.0	7.0
3	程志捷	天津大学材料学院先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室	14	179	9.0	13.0
4	步邵静	天津大学材料学院先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室	1	9	1.0	1.0