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摘要:
采用化学气相沉积(CVD)法,在Zn-Se-H2-Ar体系中生长了用于红外光学窗口的ZnSe透明多晶体.测定了ZnSe样品的XRD谱和红外透过光谱,用光学显微镜观察了样品的显微形貌;讨论了CVD工艺中生长参数对ZnSe晶体质量的影响.研究结果表明:通过优化的生长工艺,生长温度在500~750 ℃,压力在100~1 500 Pa的范围内,可以制备出高质量ZnSe多晶体;在8~12μm波段范围内,其红外透过率达70%以上.
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文献信息
篇名 化学气相沉积法生长透明硒化锌多晶
来源期刊 硅酸盐学报 学科 物理学
关键词 硒化锌 化学气相沉积法 红外晶体
年,卷(期) 2004,(8) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 946-949
页数 4页 分类号 O785
字数 3042字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0454-5648.2004.08.008
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王向阳 5 44 3.0 5.0
2 蔡以超 5 50 3.0 5.0
3 肖红涛 3 41 3.0 3.0
4 田鸿昌 3 40 2.0 3.0
5 东艳萍 3 40 2.0 3.0
6 方珍意 6 50 4.0 6.0
7 杨曜源 3 45 3.0 3.0
8 李卫 3 43 3.0 3.0
9 张力强 3 43 3.0 3.0
10 郝永亮 2 38 2.0 2.0
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化学气相沉积法
红外晶体
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