一种简便方法制备ZnO薄膜及其特性研究

• 作者: 梁齐 汪壮兵
• 来源期刊: 合肥工业大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: X射线衍射谱 光致发光谱 ZnO薄膜 制备方法
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 310-312
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 1679字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5060.2004.03.020

摘要

该文介绍了一种制备ZnO薄膜的简便方法:先在真空中蒸发沉淀Zn薄膜,再在空气中进行加热退火处理,使薄膜结晶变成ZnO薄膜.薄膜的X射线衍射谱(XRD)表明使用上述方法得到的是结晶良好的ZnO薄膜,对薄膜的发光特性研究表明,薄膜的光致发光谱(PL)与薄膜的制备条件密切相关.同时还系统研究了薄膜的PL谱与退火温度、退火时间和通气与否的关系,对实验结果给出了初步的解释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁齐	合肥工业大学理学院	47	197	7.0	10.0
2	汪壮兵	合肥工业大学理学院	19	69	5.0	7.0