热丝法气相沉积纳米金刚石薄膜

• 作者: 李建国 胡东平
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 物理学
• 关键词: 化学气相沉积系统 纳米金刚石薄膜 热丝法 反应气体 基体温度 金刚石膜 金刚石微粉 SEM观察
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 392
• 页数: 1页
• 分类号: O484.1

摘要

纳米金刚石薄膜的沉积实验在自行研制的热丝化学气相沉积系统上完成。基体为金刚石微粉研磨和酸蚀后的硬质合金片，反应气体为CH4和H2混合气，V（CH4）：V（H2）=1％-4％，基体温度800-1000℃，沉积时气压为0．8～2．0kPa。SEM观察表明，影响金刚石膜的表面形貌及粗糙度的关键参量是基体温度、反应气压及含炭气体的浓度，这些参数都会影响到薄膜的纯度、结晶习性和晶面完整性。沉积纳米金刚石薄膜工艺是通过高密度形核以及抑制金刚石膜在沉积过程中的晶粒长大来实现的。