热丝法气相沉积金刚石薄膜的影响因素

• 作者: 刘实 周德惠 李依依 李军 李建国 胡东平
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 影响因素 硬质合金
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 41-44
• 页数: 4页
• 分类号: TQ164
• 字数: 5204字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2004.01.011

摘要

由于热丝法气相沉积金刚石薄膜成膜质量好、设备简单、成本低而得到广泛应用.本文探求了工具上应用最广泛的硬质合金上利用热丝法沉积金刚石薄膜的原理,并着重讨论了在该系统中影响金刚石薄膜质量的几个因素:预处理技术、碳源浓度、温度和气压,在金刚石的形核时期和生长时期这些因素的作用是不同的,同时这些因素又相互影响.根据影响因素制定出了最优的工艺参数,最后在硬质合金上得到了均匀而致密的金刚石薄膜,经XRD分析,由(111)和(220)晶面组成,主要是(111)面,晶粒尺寸平均为113.5nm,这些探索为金刚石沉积技术在工具上的大规模应用打下了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李依依	中国科学院金属研究所	85	1251	21.0	32.0
2	刘实	中国科学院金属研究所	38	295	10.0	15.0