等离子体预处理提高金刚石薄膜／基体间结合力

• 作者: 李建国 胡东平
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体预处理 金刚石薄膜 基体 结合力 热丝CVD系统 预处理技术 预处理方法 沉积工艺
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 392-393
• 页数: 2页
• 分类号: TG174.442

摘要

采用等离子体预处理技术和优化的金刚石薄膜沉积工艺，以期为金刚石薄膜涂层工具的制备开发一种新的实用易行的表面预处理方法。等离子体预处理和金刚石薄膜沉积都在自行研制的热丝CVD系统中进行的。等离子体预处理是在脱炭气氛中进行，基体温度控制在硬质合金的再结晶温度范围内，处理总时间为2h。