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微悬臂梁结构传感器与信号读出系统的集成
微悬臂梁结构传感器与信号读出系统的集成
作者:
叶甜春
王玮冰
陈大鹏
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
微传感器
读出系统
集成
摘要:
微悬臂梁传感器是一种利用体硅加工技术和表面加工技术制备而成的一种基本微传感器类型,由微悬臂梁结构可以发展改进得到对于多种敏感物质响应的传感器件.同样,根据传感器原理,输出信号形式的不同,可以采用多种信号读出系统与其集成.在本文中将说明传感器与信号读出部件组成的微系统结构,以及应用实例,自支撑微悬臂梁结构通过光学和电学的信号读出系统组成能够完成一定功能的集成微系统.
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文献信息
篇名
微悬臂梁结构传感器与信号读出系统的集成
来源期刊
电子工业专用设备
学科
工学
关键词
微传感器
读出系统
集成
年,卷(期)
2005,(1)
所属期刊栏目
专题报道
研究方向
页码范围
25-27,62
页数
4页
分类号
TN40
字数
3344字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1004-4507.2005.01.006
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
叶甜春
中国科学院微电子研究所
200
911
14.0
18.0
2
陈大鹏
中国科学院微电子研究所
79
466
10.0
17.0
3
王玮冰
中国科学院微电子研究所
15
46
4.0
5.0
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
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二级参考文献
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共引文献
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节点文献
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(0)
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1996(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2003(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2005(1)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2005(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2006(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2007(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
2008(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
微传感器
读出系统
集成
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子工业专用设备
主办单位:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1004-4507
CN:
62-1077/TN
开本:
大16开
出版地:
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
邮发代号:
创刊时间:
1971
语种:
chi
出版文献量(篇)
3731
总下载数(次)
31
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:
The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:
http://www.863.org.cn
项目类型:
重点项目
学科类型:
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