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摘要:
微悬臂梁传感器是一种利用体硅加工技术和表面加工技术制备而成的一种基本微传感器类型,由微悬臂梁结构可以发展改进得到对于多种敏感物质响应的传感器件.同样,根据传感器原理,输出信号形式的不同,可以采用多种信号读出系统与其集成.在本文中将说明传感器与信号读出部件组成的微系统结构,以及应用实例,自支撑微悬臂梁结构通过光学和电学的信号读出系统组成能够完成一定功能的集成微系统.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 微悬臂梁结构传感器与信号读出系统的集成
来源期刊 电子工业专用设备 学科 工学
关键词 微传感器 读出系统 集成
年,卷(期) 2005,(1) 所属期刊栏目 专题报道
研究方向 页码范围 25-27,62
页数 4页 分类号 TN40
字数 3344字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1004-4507.2005.01.006
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 叶甜春 中国科学院微电子研究所 200 911 14.0 18.0
2 陈大鹏 中国科学院微电子研究所 79 466 10.0 17.0
3 王玮冰 中国科学院微电子研究所 15 46 4.0 5.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
微传感器
读出系统
集成
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子工业专用设备
双月刊
1004-4507
62-1077/TN
大16开
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
1971
chi
出版文献量(篇)
3731
总下载数(次)
31
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:http://www.863.org.cn
项目类型:重点项目
学科类型:信息技术
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