TiNi合金薄膜的脉冲激光沉积制备与应用

• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 形状记忆合金 薄膜 脉冲激光沉积 微机电系统
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 综述报告
• 页码范围: 1-8
• 页数: 8页
• 分类号: TB381|TB43
• 字数: 4934字
• 语种: 中文

摘要

概述了三种TiNi合金薄膜的制备方法,其中重点阐述了脉冲激光沉积法,并详细介绍了TiNi合金薄膜作为微驱动元件在微流体控制系统和微操作系统中的应用.随着薄膜制备工艺和性能研究的发展,TiNi合金薄膜将在复合智能材料与结构、MEMS驱动和传感元件的设计与制造等方面具有更广阔的应用前景.