一种基于热执行器的多晶硅断裂强度的电测量法

• 作者: 李伟华 王立峰 黄庆安
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 断裂强度 电测量 在线测试 热驱动
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 740-742
• 页数: 3页
• 分类号: TN7221.51
• 字数: 2179字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2005.04.012

摘要

由于在线测试的要求,断裂强度将不便于采用显微镜观测、拍照和加外力等方法来测量.使用发热梁作驱动将待测多晶硅拉断,只须读取拉断时外加的电流就能计算出多晶硅的断裂强度.就是说,使用电测量的方法测试多晶硅的断裂强度,有测试方法简单的效果.并且通过模拟和实验验证,其精度足以满足工艺线在线测试的要求.