磁控溅射制备Ti-Si-N纳米薄膜的摩擦磨损性能

• 作者: 刘维民 徐可为 牛新平 王昕 马胜利
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: Ti-Si-N纳米薄膜 显微硬度 结合强度 摩擦系数
• 年，卷（期）: 2005,（12）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 1882-1885
• 页数: 4页
• 分类号: TGL74.44
• 字数: 2824字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-185X.2005.12.009

摘要

采用磁控溅射方法在1Cr18Ni9Ti不锈钢基体上沉积Ti-Si-N纳米薄膜.结果发现:随着Si含量增加,薄膜的晶粒尺寸逐渐变小,晶粒尺寸范围在3 nm～20 nm之间.薄膜的显微硬度相对于TiN有明显增加,最大硬度可达43.5GPa.Si元素的加入亦改善了膜基结合强度.同时发现,Ti-Si-N纳米薄膜的摩擦系数和比磨损率随着Si含量的增加先减小后增加,其高温摩擦系数明显低于常温,但比磨损率却有显著提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐可为	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	238	3333	30.0	44.0
2	马胜利	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	51	461	12.0	18.0
3	王昕	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	25	194	8.0	12.0
4	牛新平	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	4	24	3.0	4.0