电子束蒸发镀膜反应室内的等离子体空间分布

• 作者: 向鹏飞 吴先球 张茂平 熊予莹 符斯列 蒙高庆 陈俊芳
• 来源期刊: 华南师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: TCP Langmuir探针 电子束蒸发镀膜
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 61-66
• 页数: 6页
• 分类号: O434.14
• 字数: 2478字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5463.2005.02.011

摘要

利用Langmuir探针诊断方法,得到了放电气压0.1 Pa、射频13.56 MHz、功率200 W、加速栅压-200 V和减速栅压+85 V条件下,电子束蒸发镀膜反应室内的等离子体空间密度分布,以及不同放电气压和不同偏压下反应室内的等离子体密度分布.通过对反应室中等离子体空间分布的分析,得到离子密度均匀区域、合适的反应气压和合适的加速栅电压、减速栅电压范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴先球	华南师范大学物理与电信工程学院	125	760	15.0	24.0
2	陈俊芳	华南师范大学物理与电信工程学院	69	768	12.0	26.0
3	熊予莹	华南师范大学物理与电信工程学院	38	421	11.0	19.0
4	符斯列	华南师范大学物理与电信工程学院	25	77	5.0	7.0
5	向鹏飞	华南师范大学物理与电信工程学院	4	13	3.0	3.0
6	蒙高庆	华南师范大学物理与电信工程学院	3	8	2.0	2.0
7	张茂平	华南师范大学物理与电信工程学院	2	5	1.0	2.0