基于同一外延层结构的10Gb/s单片集成光发射模块

• 作者: 刘宇 孙长征 张家宝 熊兵 王健 田建柏 祝宁华 罗毅 蔡鹏飞 谢亮
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 分布反馈激光器 电吸收调制器 光子集成回路 增益耦合
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 662-666
• 页数: 5页
• 分类号: TN491
• 字数: 553字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.04.006

摘要

利用同一外延层集成工艺方法制作了10Gb/s电吸收调制器/分布反馈(DFB)半导体激光器单片集成光发射模块.在器件中引入增益耦合机制以提高单模成品率,并采用感应耦合等离子体干法刻蚀技术以降低调制器电容.集成器件阈值电流为12mA,在-2V偏置时的消光比为15dB,器件的小信号调制带宽超过10GHz.在10Gb/s调制速率下经过35km单模光纤传输后,误码率为10-12时的功率代价小于1dB.