爆炸压实烧结ITO陶瓷靶材的实验研究

• 作者: 张越举 李晓杰
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 爆炸压实烧结 ITO 陶瓷靶材
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 材料工艺
• 页码范围: 417-420
• 页数: 4页
• 分类号: TF124|TN304.21
• 字数: 3204字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-185X.2005.03.020

摘要

通过爆炸压实烧结纳米ITO粉末制备了ITO陶瓷靶材,结果表明爆炸冲击压实在靶材的后续烧结密实过程中起到了促进作用,它与常规的加压烧结相比,具有操作简单,设备要求低等很多优点.经过爆炸压实的烧结靶材具有细小的晶体颗粒,比商业靶材的晶粒度小约1个数量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晓杰	大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室	204	1143	16.0	22.0
2	张越举	大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室	16	174	9.0	12.0