微梁直拉直压结构压阻微机械陀螺及制作方法

• 作者: 宋朝辉 李昕欣 王跃林 陈雪萌
• 来源期刊: 科技开发动态
• 学科: 航空航天
• 关键词: 微机械陀螺 制作方法 压阻 结构 拉直 微梁 发明专利
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 页码范围: 41
• 页数: 1页
• 分类号: V241.5
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李昕欣	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	52	280	11.0	13.0
2	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	84	623	14.0	18.0
3	宋朝辉	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	6	20	2.0	4.0
4	陈雪萌	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	1	0	0.0	0.0