红外光学材料硫化锌衬底上沉积金刚石膜的研究

• 作者: 余怀之 吕反修 李成明 陈广超 高旭辉 魏俊俊
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 硫化锌(ZnS) 金刚石膜 陶瓷过渡层 诱导形核 微波等离子体CVD
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1398-1400
• 页数: 3页
• 分类号: TN213|TN304.055
• 字数: 1888字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2005.09.027

摘要

采用微波等离子体化学气相沉积法,在预镀陶瓷过渡层的硫化锌衬底上沉积金刚石膜2在以前的实验中,我们发现在陶瓷过渡层上沉积金刚石膜极其困难,但采用金刚石诱导形核方法后,我们已经在过渡层/硫化锌试样表面获得了很小面积(约1mm宽的环状区域)的金刚石形核.本文对前期的诱导形核工作进行了一定改进,目前已经使形核生长范围大大增加,沉积面积超过原来10倍.此外,本文对金刚石/过渡层/硫化锌试样的红外透过特性以及金刚石膜质量等进行了评价.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料学院	151	1208	18.0	24.0
2	魏俊俊	北京科技大学材料学院	32	112	5.0	9.0
3	高旭辉	北京科技大学材料学院	6	53	3.0	6.0
4	陈广超	北京科技大学材料学院	27	235	9.0	14.0
5	李成明	北京科技大学材料学院	71	480	12.0	19.0