ZnO薄膜制备及其有机蒸汽敏感特性分析

• 作者: 何平 孙以材 潘国峰 程东升
• 来源期刊: 河北工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 反应溅射 ZnO薄膜 退火温度 有机蒸汽敏感特性 选择性
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 页码范围: 23-27
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 3213字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2373.2006.05.005

摘要

采用直流磁控溅射法进行ZnO薄膜的制备,探讨了O2/Ar对薄膜方块电阻,退火对薄膜结构的影响.在对不同退火温度的ZnO薄膜的气敏特性进行测试后表明:较低的退火温度有利于提高器件气敏特性,其中经600℃退火的ZnO薄膜的灵敏度最高,其最佳工作温度为350℃.实验制备的ZnO薄膜对丙酮、汽油等有机蒸汽都有较高的敏感性和较短的响应-恢复时间,呈现对有机蒸汽敏感的广谱性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材	河北工业大学信息工程学院	117	1247	18.0	31.0
2	潘国峰	河北工业大学信息工程学院	70	462	10.0	18.0
3	何平	河北工业大学计算机科学与软件学院	21	216	7.0	14.0
4	程东升	河北工业大学信息工程学院	7	21	3.0	4.0