RF-PECVD法制备大面积类金刚石薄膜性能的研究

• 作者: 李钱陶 杨长城 熊长新
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石膜 均匀性 红外 射频等离子体增强化学相沉积法
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 19-21,39
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 1943字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2006.04.006

摘要

采用RF-PECVD法在锗、硅红外光学窗口上制备了大面积(基底直径φ=150～250mm)类金刚石薄膜.采用拉曼光谱分析了大面积DLC膜的结构组成,对RF-PECVD法制备的大面积DLC膜的均匀性、红外光学性能、机械力学性能以及其抗恶劣环境的能力进行了检测和分析.膜层厚度均匀性在3%以内.锗、硅红外窗口双面镀制DLC膜后,极值透过率分别达92%和96%以上,可显著提高红外光学窗口的显微硬度.膜层具有极强的抗盐雾、耐海水腐蚀和抗摩擦的能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊长新		11	60	4.0	7.0
2	李钱陶		9	49	4.0	6.0
3	杨长城		13	237	8.0	13.0