电磁MEMS及其在生物医学工程中的应用

• 作者: 徐元森 王彬 赵建龙 金庆辉 陈翔
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 医学
• 关键词: 电磁微机电系统 生物医学工程 芯片
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术(生物微分析系统与生物MEMS技术专题)
• 页码范围: 37-42,63
• 页数: 7页
• 分类号: R318.6|TH703
• 字数: 2579字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2006.01.007

摘要

阐述了电磁MEMS技术在生物医学工程中的应用,包括微流体及微阵列芯片上基于磁珠的生物检测、核磁共振(NMR)及其他生物医学器械微型化改进等.介绍了电磁MEMS技术中的典型制作技术,展望了电磁MEMS技术的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵建龙	中科院上海微系统与信息技术研究所	4	40	3.0	4.0
2	王彬	中科院上海微系统与信息技术研究所	1	3	1.0	1.0
3	陈翔	中科院上海微系统与信息技术研究所	2	99	2.0	2.0
4	金庆辉	中科院上海微系统与信息技术研究所	1	3	1.0	1.0
5	徐元森	中科院上海微系统与信息技术研究所	1	3	1.0	1.0