B离子注入引起的金刚石薄膜体积膨胀现象

• 作者: 刘东红 戴瑛 闫翠霞
• 来源期刊: 光散射学报
• 学科: 物理学
• 关键词: B离子注入 退火 体积膨胀
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 89-94
• 页数: 6页
• 分类号: O482.23
• 字数: 4024字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-5929.2006.01.017

摘要

离子注入是获得金刚石N型或P型导电材料的有效途径之一.然而,离子注入对金刚石的晶格结构有破坏作用,造成金刚石薄膜体积的膨胀.本文对B离子注入合成Ib型金刚石薄膜后体积膨胀现象进行了研究,分析了引起体积膨胀的可能因素及原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘东红	山东大学物理与微电子学院晶体材料国家重点实验室	25	110	7.0	10.0
2	戴瑛	山东大学物理与微电子学院晶体材料国家重点实验室	25	174	7.0	12.0
3	闫翠霞	山东大学物理与微电子学院晶体材料国家重点实验室	4	9	2.0	3.0