离子束溅射La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜的XRD和XPS研究

• 作者: 丁铁柱 张利文 朱志强 王强 赵倩
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 离子束溅射 La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜 XRD谱 XPS谱
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 494-499
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 3393字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.06.013

摘要

采用离子束溅射法在氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)和铝酸镧(LaAlO3)上溅射RE0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜,测试了薄膜的XRD、XPS谱、分析了表面微结构及化学状态.实验表明,随着热处理温度的升高,La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜在YSZ和LaAlO3上生长时有取向增强的趋势,并且晶粒度增大,晶格氧减少,氧空位增加,氧输运性能提高.当热处理温度为750 ℃时薄膜结晶度最好,晶粒度最大,氧输运性能最好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王强	内蒙古大学理工学院物理系	16	59	5.0	6.0
2	丁铁柱	内蒙古大学理工学院物理系	27	110	6.0	8.0
3	张利文	内蒙古大学理工学院物理系	8	38	4.0	6.0
4	朱志强	内蒙古大学理工学院物理系	6	37	5.0	6.0
5	赵倩	内蒙古大学理工学院物理系	6	54	5.0	6.0