CVD金刚石膜紫外光探测器

• 作者: 刘健敏 夏义本 楼燕燕 王林军 马莹
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 地球科学
• 关键词: 金刚石膜 紫外光 探测器 性能
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 475-481
• 页数: 7页
• 分类号: NT36
• 字数: 4401字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.06.009

摘要

宽禁带半导体金刚石具有许多独特特性,基于此种材料的紫外光探测器能在高温、强腐蚀和强辐射等恶劣环境下工作,成为近年来紫外探测技术研究的重点课题之一.本文综述了CVD金刚石膜紫外光探测器的研究及应用进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏义本	上海大学材料科学与工程学院	111	725	13.0	19.0
2	王林军	上海大学材料科学与工程学院	109	441	11.0	14.0
3	刘健敏	上海大学材料科学与工程学院	22	87	5.0	6.0
4	楼燕燕	上海大学材料科学与工程学院	7	26	2.0	5.0
5	马莹	上海大学材料科学与工程学院	8	7	1.0	2.0