应用于扩散工艺中的闭管扩散技术

• 作者: 向小龙 彭志虹 朱晓明 罗亮 罗卫国 赵加宝
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 闭管扩散技术 扩散均匀性
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 设备制造技术
• 页码范围: 63-64
• 页数: 2页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1179字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种用于晶体硅太阳能电池p-n结制造的闭管扩散技术,它主要是针对目前使用的开管扩散技术的不足而提出的,实践证明,该技术不仅扩散均匀性优,而且节源、节能、环保,同时它还可以运用于其它半导体材料的扩散掺杂工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	向小龙	中国电子科技集团公司第四十八研究所	3	22	2.0	3.0
2	罗卫国	中国电子科技集团公司第四十八研究所	4	20	3.0	4.0
3	赵加宝	中国电子科技集团公司第四十八研究所	6	28	3.0	5.0
4	彭志虹	中国电子科技集团公司第四十八研究所	7	17	2.0	4.0
5	罗亮	中国电子科技集团公司第四十八研究所	3	16	2.0	3.0
6	朱晓明	中国电子科技集团公司第四十八研究所	1	12	1.0	1.0