斜离子束辅助沉积对Co30Nb70薄膜结构及其热稳定性的影响

• 作者: 丁宇清 曾飞 潘峰 耿魁伟 谷宇
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 离子束辅助沉积 非晶 多孔结构 入射角 热稳定性
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 61-65
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2582字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.01.016

摘要

本文研究了离子束辅助沉积(IBAD)Co30Nb70薄膜过程中离子束入射角对薄膜微结构及热稳定性的影响.实验结果表明,在0°到75°范围内改变离子束入射角均可得到Co30Nb70非晶薄膜,但样品微结构出现变化,观察到多孔和沟槽结构.所有样品经300℃退火30 min,入射角为45°制备的样品出现强织构bcc亚稳相,其它入射角沉积的样品均保持非晶相.继续将样品在450℃退火30 min,入射角45°沉积的样品中bcc亚稳相消失,溶人非晶相;15°和75°入射沉积的样品开始晶化.分析认为:离子束入射角变化引起的原子混合效应的改变,以及薄膜中的多孔结构对上述变化有重要影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘峰	清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室	30	196	6.0	13.0
2	谷宇	清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室	6	3	1.0	1.0
3	曾飞	清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室	12	14	2.0	3.0
4	耿魁伟	清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室	2	1	1.0	1.0
5	丁宇清	清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室	1	1	1.0	1.0