梳状音叉MEMS陀螺非随机误差分析

• 作者: 刘建业 刘瑞华 华冰 李荣冰 林雪原
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: MEMS陀螺 非随机性误差 微电子机械系统 惯性导航
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 通信与信息工程
• 页码范围: 928-931
• 页数: 4页
• 分类号: V241.59
• 字数: 2882字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2006.06.019

摘要

研究了一种典型结构的梳状音叉MEMS陀螺的非随机性误差特性.综合考虑梳状音叉MEMS陀螺质心偏移、硅的非等弹性等因素,分析该陀螺中的非随机性干扰力矩;从二阶欠阻尼控制系统的角度,讨论了干扰力矩在陀螺内调制、解调环节下对输出的影响;推导出开环灵敏度随温度、比力和角速度的变化关系.在一定近似条件下,得到梳状音叉MEMS陀螺非随机性误差模型的形式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘瑞华	中国民航学院天津市智能信号与图像处理重点实验室	96	548	13.0	18.0
2	刘建业	南京航空航天大学导航研究中心	518	6244	33.0	51.0
3	李荣冰	南京航空航天大学导航研究中心	110	1426	17.0	32.0
4	林雪原	南京航空航天大学导航研究中心	28	389	11.0	19.0
5	华冰	南京航空航天大学导航研究中心	38	476	8.0	21.0