超长单晶硅纳米丝的化学气相沉积法制备

• 作者: 刘志洪 尉永玲 杨德仁 汪雷
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积法 纳米硅丝
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 207-209
• 页数: 3页
• 分类号: TB383
• 字数: 2094字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.03.011

摘要

采用化学气相沉积法在镀金硅片上制备出了大量直径均匀、长度大于100 μm的单晶纳米硅丝.采用场发射扫描电镜(FESEM)、能谱分析(EDX)、透射电镜(TEM)和拉曼光谱(Raman)对样品进行了表征和分析,并对超长纳米硅丝的生长机理进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨德仁	浙江大学硅材料国家重点实验室	180	1513	20.0	31.0
2	汪雷	浙江大学硅材料国家重点实验室	41	646	13.0	25.0
3	尉永玲	浙江大学硅材料国家重点实验室	1	2	1.0	1.0
4	刘志洪	浙江大学硅材料国家重点实验室	2	2	1.0	1.0