氧化钒薄膜的电学性质研究

• 作者: 胡军志 陈学荣 韩文政
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化钒 薄膜 电学性质
• 年，卷（期）: 2006,（z1）
• 所属期刊栏目: 表面工程技术与绿色再制造、绿色维修
• 页码范围: 241-243
• 页数: 3页
• 分类号: TB3
• 字数: 1075字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-9289.2006.z1.061

摘要

采用离子束溅射和退火工艺,在K9玻璃基体上制备了氧化钒薄膜,并对其微观形貌及组成进行了研究.SEM结果表明,所制备的氧化钒薄膜均匀致密,晶粒尺寸达纳米量级,平均约50nm.由XPS分析可知,薄膜中钒的价态为+4价和+5价,薄膜由VO2和V2O5组成.自行研制了一套实时测量、动态显示测量结果的电阻-温度关系测试系统.应用该测试系统测量了薄膜电阻随温度变化的关系曲线,发现所制备的氧化钒薄膜具有显著的电阻突变特性,其低温段的激活能为0.3106eV,25℃时的电阻温度系数为-0.0406K-1.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩文政	装甲兵工程学院装备再制造工程系	41	690	13.0	25.0
2	胡军志	装甲兵工程学院装备再制造工程系	19	193	8.0	13.0
3	陈学荣	装甲兵工程学院装备再制造工程系	14	149	8.0	12.0