自适应控制在纳米加工微驱动器中的应用研究

• 作者: 于欣蕾 宋会英 张玉林 魏强
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描隧道显微镜(STM) PID控制 参数校正 压电陶瓷 纳米定位
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 实验技术与测试方法
• 页码范围: 472-474
• 页数: 3页
• 分类号: TH742|TN16|TP273
• 字数: 1798字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2006.04.032

摘要

为提高扫描隧道显微镜微驱动器的响应速度和定位精度,提出了一种基于自适应理论的控制方法.微驱动器采用压电陶瓷驱动,在分析其结构的基础上,建立了驱动器的简化运动模型,利用最小二乘法对驱动器参数进行了在线辨识.把自适应控制理论引入到微驱动器的控制中,在参数自校正PID控制律的作用下,实现了PID控制器参数的自动整定.采用专用的压电陶瓷驱动电源,进行了位移的测试实验.结果表明,参考位移量为12.39 μm时,相对于传统PID控制,动态响应时间由3 s缩短到1.4 s,稳态位移误差由3.2%减小到2.7%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玉林	山东大学控制科学与工程学院	56	465	11.0	19.0
2	魏强	山东大学控制科学与工程学院	14	155	7.0	12.0
6	宋会英	山东大学控制科学与工程学院	7	134	6.0	7.0
7	于欣蕾	山东大学控制科学与工程学院	3	17	2.0	3.0