制作了一种新型微型结构CO2传感器,该传感器采用Al2O3陶瓷片作为衬底,sol-gel法制备的固体电解质NASICON(sodium super ionic conductor)材料为离子导电层,复合碳酸盐Li2CO3-BaCO3(摩尔比为1:1.5)为敏感电极.该传感器在CO2浓度为(500~5 000)×10-6体积分数范围内表现出良好的敏感特性,灵敏度达到67.3 mV/decade(毫伏/10×10-6体积分数),并且功耗由原来的1.08 W降到0.72 W.微型元件的响应恢复时间分别为20 s和58 s.