用金刚石车削技术制备EOS实验用铝薄膜和铜薄膜

• 作者: 杜凯 袁光辉 谢军 黄燕华
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石切削 状态方程 铝薄膜 铜薄膜
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 427-430
• 页数: 4页
• 分类号: TG506
• 字数: 2666字
• 语种: 中文

摘要

具有材料理论密度的金属薄膜对于材料高压状态方程(EOS)研究而言具有重要的意义.本文提出采用金刚石车削技术,利用超精密金刚石车床、金刚石圆弧刀具及真空吸附夹持技术,对纯铝和无氧铜进行端面车削,完成了EOS实验用铝薄膜和铜薄膜的车削加工,实现了薄膜密度接近材料理论密度.精加工工艺参数为:进给量0.001 mm/r,主轴转速3000 r/min,切削深度1 μm.采用Form Talysurf series 2型触针式轮廓仪进行测量,结果表明:铝薄膜、铜薄膜厚度可以达到小于10 μm水平,表面均方根粗糙度小于5 nm,原始最大轮廓峰-谷高度小于50 nm,厚度一致性好于99%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜凯	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	72	527	11.0	19.0
2	谢军	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	22	164	8.0	12.0
3	黄燕华	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	25	118	6.0	9.0
4	袁光辉	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	20	125	6.0	10.0