超声喷雾热解法制备ZnO薄膜及性能研究

• 作者: 周佳 韩高荣
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO 超声喷雾热解法 取向生长 XRD
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 576-579
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2|O484.1
• 字数: 3611字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2006.04.021

摘要

以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,使用自制的超声喷雾热解系统在玻璃基板上制备得到了ZnO薄膜.经X射线衍射(XRD),扫描电镜(SEM)分析得到ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌.测试结果表明,ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,在450～500℃下制备的薄膜显示出良好的结晶性能,并且沿(002)晶面择优取向生长,薄膜具有优良的均匀性和致密性.同时,制备得到的薄膜在可见光区也表现出80%以上的高透过率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩高荣	浙江大学材化学院材料系硅材料国家重点实验室	187	1971	24.0	35.0
2	周佳	浙江大学材化学院材料系硅材料国家重点实验室	20	49	4.0	6.0