超声喷雾热分解法制备ZnO薄膜及衬底温度对其性能的影响

• 作者: 任维义 孟祥杰 陈太红 黎波 龚恒翔
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 超声雾化热解法 衬底温度 微观形貌 透过率
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 页码范围: 523-527
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3259字
• 语种: 中文

摘要

以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,采用超声喷雾热分解法在玻璃衬底上制备得到了温度在350℃到450℃范围内的ZnO薄膜.用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)及紫外-可见分光光度计分析了ZnO薄膜的晶体结构、微观形貌及其光学性质,重点探究了衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响.分析表明:制备的ZnO薄膜为六角铅锌矿结构,衬底温度对薄膜的质量有着重要的影响;所得薄膜在400℃时结晶性能好,沿c轴择优取向生长,具有优良的均匀性和致密性;所制备的薄膜在可见光区透过率高达86％以上,在紫外光区吸收强烈.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任维义	西华师范大学理论物理研究所	35	78	4.0	7.0
2	陈太红	西华师范大学理论物理研究所	61	155	7.0	9.0
3	龚恒翔	重庆理工大学物理实验中心	27	72	5.0	7.0
4	孟祥杰	西华师范大学理论物理研究所	3	3	1.0	1.0
5	黎波	西华师范大学理论物理研究所	5	19	2.0	4.0