MEMS器件自动优化算法

• 作者: 李伟华 赖文滨
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS器件 自动优化算法 结构参数 悬臂梁
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳设计
• 页码范围: 1372-1375
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 3218字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.015

摘要

研究了MEMS器件结构参数的自动优化算法及其实现技术.以悬臂梁的谐振频率指标为例,通过TSPICE软件,模拟其在给定初始结构参数下的谐振频率,算法自动完成指标分析并选取适当的修正步长,采用恰当的参数修正算法对器件结构参数进行优化,通过循环迭代直至满足用户频率指标和精度指标要求.最后采用CoventorWare软件对优化结果进行了验证.