非晶硅薄膜晶体管室温红外探测器的优化设计

• 作者: 刘兴明 刘理天 方华军
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 非晶硅薄膜晶体管 非制冷红外探测器 电流温度系数 插指结构
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 物理量传感器
• 页码范围: 219-221
• 页数: 3页
• 分类号: TN215
• 字数: 1937字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.070

摘要

介绍了基于非晶硅薄膜晶体管的室温红外探测器的基本特征及性能指标,对晶体管宽长比对探测器性能的影响进行了理论分析,分析表明,提高晶体管的宽长比可以改善探测器的探测率.为了克服传统微桥结构室温红外探测器成品率低的不足,提出了一种新的热绝缘材料,并将该材料应用到了非制冷红外探测器中,实际制备了探测器单元,对该材料的热绝缘能力进行了验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	方华军	清华大学微电子学研究所	11	77	4.0	8.0
3	刘兴明	清华大学微电子学研究所	8	66	5.0	8.0