分子泵对Xe气抽速的测试

• 作者: 江豪成 邱家稳 郭宁
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 分子泵 抽速 Xe
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 真空获得
• 页码范围: 15-17
• 页数: 3页
• 分类号: TB752+.27
• 字数: 2170字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.02.004

摘要

在不同Xe气流量下测量了F-400/3500和F-250/1500分子泵对Xe气的抽速,指出分子泵对Xe气的抽速是其对N2抽速的0.6～0.8倍.这一折算系数和泵的型号有关,和泵口真空度也相关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱家稳		44	477	14.0	20.0
2	郭宁		15	197	10.0	14.0
3	江豪成		14	105	6.0	10.0