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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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1. 真空冶金发展动态刊名： 真空发表期刊： 2009年1期页码:摘要： 结合研发和生产实践,从真空蒸馏、真空还原提取以及真空冶金在高新技术材料制备领域的应用等角度阐述了真空冶金的最新发展动态,提出了真空冶金未来应进一步深入研究的内容和方向,从而表明了真空冶金在二...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年1期页码:摘要： 6061(锻铝材料)高强度机载计算机机箱采用的是整体焊接工艺,其关键技术之一是高真空钎焊.为满足新材料焊接工艺要求,需要有高精度的工艺设备来保证,为此我们研制开发了高控温精度、高温度均匀性、...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年1期页码:摘要： 利用"物质吉布斯自由焓函数法",讨论了不同压力下三氧化二铝生成低价一氧化铝及低价一氧化铝分解的热力学条件.研究得出:在100 kPa时,三氧化二铝与还原剂碳反应在3097.86 K以上才能生...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年1期页码:摘要： 在自主研发的一系列P型导电Cu1-xNixO靶材基础上,选择具有最佳电导率的Cu0.95Ni0.05O靶材,采用脉冲等离子体沉积技术在室温条件下普通玻璃衬底上制备了Cu0.95Ni0.05O...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年1期页码:摘要： 利用双放电腔微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射(MW-ECR PEUMS)系统,在室温下制备CNx薄膜.通过傅立叶变换红外光谱、X光电子能谱表征技术以及椭偏仪测试手段,研究了N含量对CNx...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年1期页码:摘要： 残余应力大的薄膜,容易产生脱膜现象,使得薄膜失去所需功能.在激光薄膜领域,残余应力也是薄膜激光损伤阈值难以提高的原因之一.基于热收缩效应模型和弹性力学原理,从薄膜膜系着手提出了控制薄膜残余热...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年1期页码:摘要： 采用磁控溅射离子镀技术在贫铀表面以不同基片偏压与不同氩分压制备铝镀层,利用扫描电镜分析了镀层的表面和界面形貌,利用俄歇电子能谱仪分析了界面元素分布,利用透射电镜分析了镀层的微观结构.结果表明...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年1期页码:摘要： 采用直流溅射并结合热处理工艺制备氧化镍薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDX)考察退火温度对薄膜结构、形貌和组成的影响,并通过恒流充放电技术初步考察薄膜的电化学...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年1期页码:摘要： 选取多个钨丝均匀的分布在一个圆周上,形成一个环状蒸发源.把每个钨丝看成一个标准的点蒸发源,与LAMOST子镜建立模型形成一个蒸发沉积系统.把镜面离散成一个致密的具有特定坐标点的阵列,把每个点...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年1期页码:摘要： 在中频孪生靶磁控溅射实验装置上,研究了电源恒压、恒流、恒功率工作模式下沉积速率与气压、电参数之间的关系,得出不同工作模式下电压、电流、功率及频率、占空比对沉积速率的影响:恒流模式下沉积速率稳...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年1期页码:摘要： 涡旋真空泵是一种新型的无油直排大气机械泵,它具有动力传递简单、气体流动损失小、运行平稳、结构简单紧凑、密封性能好、消耗功率小、振动噪声低、可靠性高等优点.本文简要介绍了涡旋泵的发展过程、工作...
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12. 空间环境试验舱液氦系统设计与测试刊名： 真空发表期刊： 2009年1期页码:摘要： 舱外航天服是航天员完成出舱活动的必要装备,为了确保出舱活动的顺利进行以及航天员的生命安全,针对舱外航天服的试验舱的设计与测试至关重要.本文根据航天试验的需要,设计了空间环境试验舱的液氦系统,...
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13. 波导阀门放气理论计算和改进措施刊名： 真空发表期刊： 2009年1期页码:摘要： 本文介绍了波导阀门放气量和波导阀附近真空系统的真空度的关系.波导阀门放气量对速调管陶瓷窗附近的真空度有极大的影响.在计算和实验研究的基础上,我们对波导阀门的放气量进行了理论计算,按照BEPC...
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14. 石英晶体真空退火炉控制系统设计刊名： 真空发表期刊： 2009年1期页码:摘要： 根据石英晶体真空退火炉的工艺过程和控制要求,设计了以SIMATIC S7-300 PLC为核心,以工业触摸屏为人机界面的电气控制系统.选用FM355-2S温度闭环控制模块实现对多个温控区的自...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年1期页码:摘要： 采用虚拟仪器技术开发了一个温度的数据采集系统.并在高精度气体微流量计中得到的应用.详细介绍了系统的硬件组成和软件的设计.系统的硬件部分使用研华公司的PCI-1716多功能数据采集卡和ADAM...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年1期页码:摘要： 采用40 kHz中频脉冲电源,利用电容耦合等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,以六甲基二硅氧烷(HMDSO)为单体、氧气为反应气体,氩气为辅助气体,在PET薄膜表面沉积应用于透明高阻...
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17. 一种在微波管外调整管内参数的方法刊名： 真空发表期刊： 2009年1期页码:摘要： KMF-1017大功率微波管是我国自己设计制造的一种大功率的真空电子器件,其脉冲功率高达20 MW,管内真空度为5×10-7 Pa.对于一个成品管,如果发现管内有问题,就需要把管子剖开,进行...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年1期页码:摘要： 对真空冷却过程中一些特殊的温度变化现象进行分析研究,分析了在抽气与复压阶段中真空室内的温度以及以水作为样品的温度变化规律.特别是在复压阶段中,真空室内的温度会高于环境的进气温度.应用变质量系...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年1期页码:摘要： 以梨为研究对象,理论分析在真空贮藏的条件下果蔬传热传质过程特性.建立相应的物理模型和数学模型,基于Gauss-Seidel迭代方法进行数值求解,得出真空贮藏过程中果蔬表面及内部的水分和温度的...
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20. 第十六讲真空系统的操作与维护刊名： 真空发表期刊： 2009年1期页码:摘要：
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21. 会议消息刊名： 真空发表期刊： 2009年1期页码:摘要：
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22. 电炉真空系统的设计与计算(一)刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 为了满足目前一些读者的需要,我们较系统地介绍了前苏联这方面的有关资料.内容有电炉真空系统计算的理论基础与计算方法及有关数据,最后给出真空感应炉、真空电阻炉、真空电弧炉和电子轰击炉真空系统的计...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 本文通过测试铜合金在连续加热过程中电阻率的变化研究了铜合金的连续加热时效动力学.提出了用时效过程中电阻率的减小值△ρ作为描述时效过程的参数.在此基础上,建立了连续加热时效动力学图.在等速加热...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 应用二维准平面电路模型对等离子体增强化学气相沉积(PECVD)大面积平行板电极间电势差分布均匀性进行了数值研究.计算结果表明:在等离子体存在的条件下,电极间电势差分布非均匀性与真空下相比大大...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 采用直流磁控溅射法在PI柔性衬底上制备Cu膜.通过接触角测试仪、X射线衍射仪、四探针测试仪等仪器研究了Ar+轰击时间和溅射功率对薄膜接触角、择优取向、晶粒大小及电阻率的影响.测试结果表明:随...
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26. 磁控溅射镀膜技术的发展刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 磁控溅射由于其显著的优点应用日趋广泛,成为工业镀膜生产中最主要的技术之一,相应的溅射技术与也取得了进一步的发展.非平衡磁控溅射改善了沉积室内等离子体的分布,提高了膜层质量;中频和脉冲磁控溅射...
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27. 大口径镜面镀膜与镀膜系统配置刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 对大口径镜面特别是对大口径天文望远镜镜面的镀膜时,镀膜系统的配置对膜层性能的预期指标的实现起着非常重要的作用.整个镀膜系统的配置,一般都需要根据镜面的尺寸、镀膜方案以及相关工艺参数等来专门设...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 利用非平衡磁控溅射复合靶技术制备了一系列掺钛的无氢类金刚石(Ti-DIE)薄膜,并对薄膜的热稳定性能、机械性能、应力分布以及表面形貌进行了研究.实验结果表明:退火处理对Ti-DIE膜的性能具...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 应用中频反应磁控溅射设备在载玻片上制备掺铈的Al2O3薄膜,在固定的电源功率下,氩气流量为23sccm,氧流量为5sccm,室温下溅射时间为90分钟的条件下,通过控制薄膜中的Ce3+离子的掺...
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刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 在不同的射频负偏压作用下,利用微波电子回旋共振(ECR)等离子体源化学气相沉积技术在单晶硅表面进行制备类金刚石薄膜研究.利用傅立叶变换红外吸收光谱(FTIR)和原子力显微镜(ARM)对薄膜的...
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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