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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2001年1期页码:摘要： 本文对我国电子信息产业近十年的发展态势、“十五”规划和十年目标，列出图表作了扼要叙述，并对真空产业在面向电子信息产业需求的各项真空设备能及时提供良好的产品，提出四项市场需求量将会很大增长的电...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年1期页码:摘要： 采用多弧离子镀制备的合金涂层成分与合金阴极靶之间通常存在一定程度的偏差。这种离析效应导致了合金涂层成分控制及合金靶材成分设计的困难。现在的研究工作提出了一个简易的公式an=［(an0*fn)...
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3. 真空内置大气靶室的设计刊名： 真空发表期刊： 2001年1期页码:摘要： 针对目前的离子注入实验都是在真空状态下进行的事实，设计了真空内置式大气靶室装置。采用Monte Carlo方法模拟计算了注入离子进入靶室的穿透能量和行迹方向，证明真空内置式靶室技术是可行的，...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年1期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2001年1期页码:摘要： 本文在探讨镀膜玻璃一些基本问题的基础上，阐述了磁控溅射在玻璃涂层技术中的应用机理、靶的结构、靶材的选取、提高膜层质量以及镀膜玻璃的应用及发展前景等问题。
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刊名： 真空发表期刊： 2001年1期页码:摘要： 本文采用分离靶多弧离子镀技术，通过改变基片负偏压和分离靶弧电流等参数，在310SS(stainless steel)基片上制备了多种成分的Nb1-xAlx(0.38＜x＜0.64)/Mo1-...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年1期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2001年1期页码:摘要： 利用磁过滤等离子体沉积装置，结合金属等离子体沉积技术，在Si基底上分别用动态离子束增强沉积和非增强沉积的方法来制备NbN膜，对二者予以比较，并探讨了非增强沉积过程中基底温度对NbN膜层的影响...
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9. 磁性液体密封试验研究刊名： 真空发表期刊： 2001年1期页码:摘要： 本文在磁性流体密封理论的基础上计算了磁性流体密封的耐压能力，并进行了实验研究。结果表明当间隙在0.05～0.3mm之间时密封能力较好。
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刊名： 真空发表期刊： 2001年1期页码:摘要： 在真空抽气系统中，增压泵与维持泵之间常用电磁充气阀来对维持泵进行停泵充气，但电磁充气阀工作可靠性低，生产和使用费用高，且容易被烧坏。本文介绍了一种带充气气动阀的结构原理及应用，它除具有电磁充...
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11. 真空电子束焊机中的PLC应用技术刊名： 真空发表期刊： 2001年1期页码:摘要： 本文介绍了电子束焊机的组成及工作原理，并对电子束焊机的控制原理和作用进行分析，提出用三菱公司的FX系列的可编程逻辑控制器对电子束焊机进行逻辑控制。工作台控制则通过采用PLC的高速输出口和PL...
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12. 太阳能真空集热管排气台的设计刊名： 真空发表期刊： 2001年1期页码:摘要： 本文介绍了太阳能真空集热管排气台的设计要求与结构特点.
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13. 磁流体密封原理与应用刊名： 真空发表期刊： 2001年1期页码:摘要： 本文介绍了磁流体密封的原理和应用方面的情况与经验，可以帮助有关人员了解这项技术的特点，更好地推广使用这一成果，为真空设备品质的提升助一臂之力。
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14. 第十讲：真空密封刊名： 真空发表期刊： 2001年1期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2001年1期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2001年1期页码:摘要：
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17. 分子泵的世纪回顾与展望刊名： 真空发表期刊： 2001年2期页码:摘要： 分子泵自1912年诞生以来，至今已快近一个世纪了。它在初期进展较缓慢，在1970年以前，分子泵的应用还仅限于核物理、电真空、表面科学等领域。但近20年来由于半导体产业的兴起和薄膜工业的发展，...
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18. 医药用冻干机加塞系统的设计刊名： 真空发表期刊： 2001年2期页码:摘要： 本文主要介绍现代医药冻干机瓶装药物加塞系统控制的主要结构与工作原理。通过设计计算、实验研究得出最佳设计方案，为药用冻干机在进行可加塞瓶装药品中，提供了一个可借鉴的设计方案，并在实际制造工艺与...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年2期页码:摘要： 本文主要介绍了可编程序控制器及智能温控仪在真空干燥与浸渍设备中的应用，并介绍了应用中出现的问题及解决办法。
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刊名： 真空发表期刊： 2001年2期页码:摘要： 本文简要综述近年来粉体(食用粉和超细粉末材料等)真空冷冻干燥制备技术、工艺和设备等方面的发展近况。
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21. 果蔬真空预冷装置的设计与研究刊名： 真空发表期刊： 2001年2期页码:摘要： 本文阐明了果蔬真空预冷装置的原理、组成、特性及优点；给出了基本设计参数的确定方法及计算公式，可供专业人员设计参考。
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刊名： 真空发表期刊： 2001年2期页码:摘要： 利用射频/直流磁控溅射法制备了316L不锈钢/SiO2复合薄膜，并对其组织、相结构和力学性能进行了测试分析。结果表明：直流磁控溅射316L不锈钢薄膜呈柱状晶结构，主要由Fe-Cr和-Fe相...
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23. 掺杂氧化钨薄膜的电致变色特性刊名： 真空发表期刊： 2001年2期页码:摘要： 掺杂氧化钼对氧化钨薄膜的电致变色特性有一定的影响。本文介绍了用电子束蒸发制备不同MoO3掺杂比例的氧化钨膜。对其着色态与漂白态的光学特性以及循环伏安特性进行了实验研究。通过对循环伏安曲线的分...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年2期页码:摘要： 高透明低方阻ITO-Ag-ITO柔性薄膜具有广泛的用途。本文介绍了膜系设计、工艺参数及控制。对设备结构也做了简要叙述。测试结果表明，ITO-Ag-ITO多层膜采用连续卷绕镀的方法生产，性能优...
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25. 1750℃高温钽片真空炉的研制刊名： 真空发表期刊： 2001年2期页码:摘要： 本文介绍了一种用于高压电容器钽粉高温脱气处理的新型金属热处理炉。这种炉子是针对钽粉高温脱气的特点开发研制的，即使在工作温度、真空度较高，除气量、温度梯度较大的情况下，仍能保证高温脱气的合理性...
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26. 2001年真空学会活动计划刊名： 真空发表期刊： 2001年2期页码:摘要：
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27. 密封间隙对磁流体耐压能力的影响刊名： 真空发表期刊： 2001年2期页码:摘要： 本文对磁流体密封的一般规律进行了概述，重点进行了密封间隙在不同转速、零件加工质量情况下，磁流体密封装置耐压能力的研究。得出了密封间隙过小，不但不能提高耐压能力，反而会有所下降的结论。
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28. 提高系统真空度的方法刊名： 真空发表期刊： 2001年2期页码:摘要： 本文叙述了真空系统中水蒸汽和油污染的来源和防止措施，并提出在开机和停机过程中尤其是突然停电时大气和油蒸汽通过抽气管道返回真空室问题的解决方法。
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刊名： 真空发表期刊： 2001年2期页码:摘要： 单晶炉是生长大规模集成电路所需要硅单晶的专用设备。本文主要介绍了单晶炉的真空系统与充气系统的设计。
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30. 第十讲：真空密封刊名： 真空发表期刊： 2001年2期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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