高透明低方阻ITO-Ag-ITO柔性镀膜技术

• 作者: 余圣发 刘婧 彭传才 彭晶 李京增 李伟 胡去慧 苏丹丹 蒋力
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 高透明 低方阻 ITO-Ag-ITO柔性薄膜 连续卷绕镀膜
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 学位论文
• 页码范围: 36-38
• 页数: 3页
• 分类号: TB43|TN305.8
• 字数: 3052字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2001.02.008

摘要

高透明低方阻ITO-Ag-ITO柔性薄膜具有广泛的用途。本文介绍了膜系设计、工艺参数及控制。对设备结构也做了简要叙述。测试结果表明，ITO-Ag-ITO多层膜采用连续卷绕镀的方法生产，性能优异，工艺稳定，系统可靠。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余圣发	国防科技大学薄膜电子技术研究所	6	27	2.0	5.0
2	李京增	国防科技大学薄膜电子技术研究所	2	19	1.0	2.0
3	苏丹丹	国防科技大学薄膜电子技术研究所	2	19	1.0	2.0
4	彭传才	国防科技大学薄膜电子技术研究所	2	19	1.0	2.0
5	胡去慧	国防科技大学薄膜电子技术研究所	1	19	1.0	1.0
6	彭晶	国防科技大学薄膜电子技术研究所	1	19	1.0	1.0
7	李伟		1	19	1.0	1.0
8	蒋力		1	19	1.0	1.0
9	刘婧		1	19	1.0	1.0