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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 首先介绍镀膜技术的分类、软硬衬底涂层设备的结构特点及多室系统、现代卷绕镀膜机单室、双室及三室的真空设计,其次介绍直线式与集束式多室镀膜机的结构特点,最后叙述大型真空镀膜设备工业应用及进展情况...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 通过脉冲激光法在石英玻璃基底上沉积了锡掺杂氧化镉(Sn-CdO)透明导电薄膜.X射线衍射,分光光度计和霍尔效应仪检测了薄膜的结构、光学和电学性能.结果表明Sn的掺杂提高了薄膜[111]方向的...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 择优溅射是深度剖析实验中导致所测量元素的成分分布偏离实际的一个重要因素.本文首先在广泛应用于溅射深度剖析定量分析的MRI模型基础上,引入了一个描述择优溅射效应的参数,推导出了这个参数对所测量...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 采用多弧离子镀设备在抛光后的高速钢表面沉积TiN薄膜,在其他参数不变的情况下,着重考察偏压对薄膜的沉积速率的影响.实验结果表明,随着负偏压的增加,沉积速率不断增加,但在负偏压达到一定值后,沉...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 本文使用AIP-01型国产多弧离子镀膜设备,采用不同的弧源电流在不锈钢衬底及Si片上制备了TiN薄膜,对其硬度、表面形貌以及摩擦系数等进行了测试,从电弧沉积的物理机制角度详细分析了弧源电流对...
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6. 征稿启事刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 研究了后退火处理对磁控溅射法制备NiZnCo铁氧体磁性薄膜的成分、组织及性能影响.用EPMA、XRD和AFM分别表征后退火处理前后薄膜的成分、物相和微观结构,用VSM测试后退火处理前后的薄膜...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 介绍了硅的理化特性以及在光学薄膜设计中的应用特点.对电子束沉积硅薄膜时的温度、真空度进行了确定,并对其沉积速率的稳定性以及石墨坩埚的使用方法进行了研究.利用分光光度法测定了硅膜在0.5μm～...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 本文讨论了以射频磁控溅射为主要工艺制备的TiO2/SiOxNy/SiO2结构高k栅介质.文中重点讨论了不同成分界面SiOxNy薄膜作用下,栅介质整体电容-电压特性的异同,并论述了SiO2界面...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 采用磁控溅射结合离子束混合技术在不锈钢基体上制备C-(50～90)％ SiC涂层,对涂层进行加热处理及氢离子注入.对各种条件下制备的涂层进行元素深度分布分析.结果表明,SiC组分含量高的涂层...
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11. 正压漏孔校准技术的发展概况刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 介绍了国内外正压漏孔校准技术的研究概况,对校准装置的原理和组成进行了详细说明,对采用的校准方法进行了分析和讨论.以此为基础,归纳总结了正压漏孔校准技术中所涉及的关键技术,分析了技术发展的总体...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 介绍ITER导体总体检漏系统布置,对检漏系统的粗真空抽气时间和高真空抽气时间进行具体计算,其中高真空抽气时间计算运用两种数学方法:特别积分法和Runge-Kutta法.介绍了检漏系统标定的重...
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13. 真空设备检漏及探伤刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 随着技术的不断发展和更新,真空设备的种类和结构也越来越多样化,为确保生产的安全和高效性,结合设备的不同结构,对设备的检漏和探伤也提出不同的要求.分析传统的和最新的检测技术和手段,根据实际使用...
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14. 高频半桥直流磁控溅射电源设计刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 稳定可靠的直流电源是直流磁控溅射镀膜质量的关键,本文采用开关频率为50 kHz的半桥拓扑,对主回路结构和参数进行设计.以SG3525控制芯片为核心,对控制回路按小信号模型建模,使用PI补偿网...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 本实验采用持续时间为微秒级、放电电流为100 A～300 A的单脉冲电源形式,设计了三种不同锥角的铝电极.通过朗缪尔探针法测量放电生成的等离子体相关参数,讨论了电极锥角对真空沿面放电等离子体...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 为了研究平面盘香形射频离子源等离子体放电特性,对射频电感耦合离子源内的放电等离子体运用磁流体动力学建立二维磁流体模型进行数值模拟,得到了放电室内等离子体参数分布.结果发现电子由于受双极性电势...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 采用计算流体力学(CFD)方法对螺旋槽牵引结构在粘滞流态下的气体流动规律进行了数值模拟,研究了在固定压缩比下螺旋槽牵引结构抽气通道内的压力场、流场变化情况,横截面平均压力,各横截面平均压力与...
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18. 对吸气剂除气有关要素的探讨刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 除气是吸气剂产品生产的关键环节,为了优化除气工艺做过不同形式的技术探讨.在用质谱进行这方面探讨中、初步得到了比较清晰的数据结果、为日后进一步工作做了准备.本文简要介绍这方面情况并进行有关讨论...
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19. 罗茨泵噪声测量方法研究刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 罗茨真空泵噪声的测量一贯沿用GB/T 21271《真空技术——真空泵噪声测量》,没有充分考虑到罗茨真空泵噪声的发声特殊性,测量条件严重脱离了罗茨真空泵现实的安装和运行条件,不能真实反映罗茨真...
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20. 喷油式螺杆真空泵的控制系统设计刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 本文以我公司某款真空泵产品为例,系统阐述了喷油式螺杆真空泵机组的主要结构特点、工作流程,并具体分析了其控制系统的运作原理、功能特点及设计方法,给相关真空泵控制系统的设计提供了有益的借鉴.
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21. 真空绝热板热桥效应数值分析及优化刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 真空绝热板隔气结构引起边缘热流损失,尤其是当其中含有金属层时,所造成的热桥效应会使真空绝热板整体导热系数提高,严重影响其绝热性能.文章建立边界热流传递数学模型,并基于边界条件下分析与计算,结...
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22. 一种单孔真空注油新方法刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 在电力设备或医疗设备中,常常需要采用真空注油工艺,以避免空气中的水分滞留设备内部,从而提高其绝缘性能.传统的工艺方法操作复杂,工作效率低,辅助设备多,成本高.本文提出一种新的工艺,能够满足对...
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23. 第十八讲真空蒸发镀膜刊名： 真空发表期刊： 2013年1期页码:摘要：
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24. 螺杆真空泵的特点与应用刊名： 真空发表期刊： 2013年2期页码:摘要： 本文首先介绍了近年来螺杆真空泵的发展现状,其次对美国泰悉尔公司生产的TSP系列及KDS425螺杆真空泵的性能参数和结构特点作了详细的叙述,最后介绍了螺杆真空泵在制药行业溶媒回收、石化行业汽油...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年2期页码:摘要： 动叶轮作为分子泵的关键部件,与芯轴过盈装配,要求在高速状态下仍保持一定的过盈量.本文计算了动叶轮在高速转动时的径向变形、过盈装配时的初始应力状态和转动时应力状态,根据径向变形量的差异和应力优...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年2期页码:摘要： 涡旋真空泵型线主要有圆渐开线、线段渐开线、正多边形渐开线、螺旋线、包络型线以及通用集成型线等.由于圆渐开线理论成熟且易于加工,一般用圆渐开线作为涡旋齿壁型线.但单一型线涡旋齿难以实现完全啮合...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年2期页码:摘要： 采用二氧化钛(P25)、粘接剂和溶剂经研磨制备致密二氧化钛薄膜,并结合水热法在致密薄膜上制备多孔二氧化钛薄膜,然后再将其浸渍在醋酸锌溶液中制备成TiO2/ZnO复合薄膜,将所制得的复合薄膜分...
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28. 真空蒸发制备Sb掺杂CdTe薄膜刊名： 真空发表期刊： 2013年2期页码:摘要： 采用真空蒸发技术在玻璃衬底上制备了Sb掺杂的CdTe薄膜,薄膜为沿(111)晶向择优生长的立方闪锌矿结构的CdTe,结果表明Sb掺杂使得薄膜表面更加均匀致密,改善了薄膜的结晶状况,增大了薄膜...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年2期页码:摘要： 利用脉冲激光沉积法(PLD)在Si衬底上制备NiO薄膜,利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对所制备薄膜的晶体结构和表面形貌进行表征分析,研究衬底温度和脉冲激光能量对NiO薄膜结...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年2期页码:摘要： 在玻璃基片上采用金属Al靶在溅射气体Ar和反应气体O2的混合气体中,真空磁控溅射半透明的Al-Al2O3金属陶瓷薄膜,再将沉积薄膜的玻璃基片浸入沸腾的去离子水中氧化,制备成陶瓷增透膜.优化镀...
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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